潔淨車間的等級劃分是基於室內空氣質量控(kòng)製(zhì)的標準,主要依據空氣中懸浮粒子的濃度來劃分。這種劃分是為(wéi)了滿足不同行業生產環境的需求,特別是對於那些對環境清潔(jié)度有嚴格要求(qiú)的生產過(guò)程,如半導體製造、生物醫(yī)藥(yào)、精密儀器製造等。
以下是潔淨車間等級(jí)的劃分方法:
1. 空氣潔淨(jìng)度等級:這是潔淨車間等(děng)級劃分的核心標準。它依據單位體積空(kōng)氣中,大於或等於特定粒徑的粒子數量的最大濃度限值來劃分。這個濃度限值越低,表示空氣潔(jié)淨度越高。
2. ISO 14644-1 標(biāo)準:這是一個國際標準,它定義了空氣潔淨度等級(jí)(N),每個等級都有對(duì)應的粒子濃(nóng)度限值。例如(rú),ISO 5(原(yuán)100級)表示每立方米空氣中,大於或等於0.1微米的粒子數量(liàng)不超(chāo)過(guò)100個。
3. 國內標(biāo)準:如《GB50073-2013潔淨廠房設計規範》和《GB50591-2010潔淨室施(shī)工及驗收規範》,這些標(biāo)準對潔淨車間(jiān)的設計、建(jiàn)造、測試和驗收都做了詳細的規定。
具體等級劃分如下(xià):
- **1級(jí)(或(huò)稱(chēng)ISO 1)**:這是最高級別的潔淨車間,用於要求最為嚴格的微電子產品的(de)生(shēng)產。
- **10級(jí)(或稱(chēng)ISO 3)**:適用於亞微米半(bàn)導體生產。
- **100級(或稱ISO 5)**:常用於醫藥(yào)工業的無(wú)菌製造工藝,以及精密儀器製造。
- **1000級(或稱ISO 6)**:主要用於高質量光學產品的生產(chǎn)和半導體工業(yè)中的一些應用。
- **10000級(或稱ISO 7)**:適用於一般藥品(pǐn)生產、食品加工業等。
- **100000級(或稱ISO 8)**:通常用於一般工業生產(chǎn)。
除(chú)了粒子濃度控製(zhì),潔淨車間還涉及其他參數(shù)的控製(zhì),如溫度、濕度、壓力(lì)、噪音、靜電等,以確保生產環境的穩定性和產(chǎn)品(pǐn)質量。
每個等級的潔淨車間在設計和運行時,都需要采用不同(tóng)的技術手段和設備,如高效過濾器(HEPA)、層流係(xì)統、壓力控製係統等,以達到相應的潔(jié)淨度標準。